信息摘要:
HDI盲孔板制作作为高密度互连技术的核心工艺,其技术难点主要体现在以下方面:一、精密加工与对位控制激光钻孔精度要求:盲孔需在特定层间实现微…
HDI盲孔板制作作为高密度互连技术的核心工艺,其技术难点主要体现在以下方面:
一、精密加工与对位控制 激光钻孔精度要求:盲孔需在特定层间实现微米级定位(孔径通常≤0.15mm),激光参数(功率、脉冲频率)的细微偏差会导致孔壁粗糙或孔径不均。
层间对位误差:多次压合过程中,层间偏移可能超过±25μm的容限,影响信号传输稳定性。
二、电镀与填孔工艺 孔壁镀铜均匀性:深径比大的盲孔易出现镀层厚度不均,需通过特殊添加剂和脉冲电镀技术控制。
树脂填充缺陷:气泡或收缩会导致孔内空洞,需优化固化工艺和材料流动性。
三、成本与良率平衡 设备投入高昂:高精度激光钻机和层压设备成本占制造成本40%以上。
良率控制:二阶HDI板需三次压合,良率较一阶下降15%-20%。
四、材料与工艺协同 基材选择限制:高频材料(如PTFE)的钻孔难度显著增加,需匹配专用钻头参数。
热应力管理:多次压合导致的热膨胀系数差异可能引发层间分离。
当前技术通过激光能量动态调节、智能对位系统和纳米级填孔材料逐步突破这些瓶颈。